양면 처리를 위한 패터닝된 척

• Main Authors: GODET LUDOVIC, THIJSSEN RUTGER
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 16.06.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; MACHINE TOOLS; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

본원에 설명된 실시예들은, 내부에 복수의 공동들이 형성된 기판 척킹 장치에 관한 것이다. 공동들은 척킹 장치의 몸체에 형성되고, 복수의 지지 요소들이 몸체로부터 연장되고 복수의 공동들 각각을 분리한다. 일 실시예에서, 제1 복수의 포트들이 몸체의 최상부 표면에 형성되고 복수의 지지 요소들 중 하나 이상을 통해 몸체의 최하부 표면으로 연장된다. 다른 실시예에서, 제2 복수의 포트들이 복수의 공동들의 최하부 표면에 형성되고 몸체를 통해 몸체의 최하부 표면으로 연장된다. 또 다른 실시예에서, 제1 전극 조립체가 몸체의 최상부 표면에 인접하게 복수의 지지 요소들 각각 내에 배치되고, 제2 전극 조립체가 복수의 공동들 각각에 인접하게 몸체 내에 배치된다. Embodiments described herein relate to a substrate chucking apparatus having a plurality of cavities formed therein. The cavities are formed in a body of the chucking apparatus and a plurality of support elements extend from the body and separate each of the plurality of cavities. In one embodiment, a first plurality of ports are formed in a top surface of the body and extend to a bottom surface of the body through one or more of the plurality of support elements. In another embodiment, a second plurality of ports are formed in a bottom surface of the plurality of cavities and extend through the body to a bottom surface of the body. In yet another embodiment, a first electrode assembly is disposed adjacent the top surface of the body within each of the plurality of support elements and a second electrode assembly is disposed within the body adjacent each of the plurality of cavities.