원치 않는 미광을 감소시키기 위한 필드 크기 최소화

• Main Authors: XU ZHIWEI, PETTIBONE DONALD, LI QING, KAVALDJIEV DANIEL IVANOV, HUANG CHUANYONG, LI FRANK
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 12.06.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

센서의 수집 영역의 크기를 구성하여 시스템에서 감도 제한 노이즈(sensitivity-limiting noise)의 근원을 감소시킴으로써, 미광(stray light) 및 공기 산란광(air-scattered light)을 감소시킬 수 있다. 수집 영역의 크기를 조정함으로써, 미광인 심자외선 광(stray deep ultraviolet light) 및 공기 산란된 심자외선 광(air-scattered deep ultraviolet light)을 감소시킬 수 있다. 서보(servo)는 시간 지연 및 적분 센서(time delay and integration sensor)에 의해 수집되는 조명 스폿(illumination spot)의 위치를 제어할 수 있다. Stray and air scattered light can be reduced by configuring a size of the collection area of a sensor, which reduces a source of sensitivity-limiting noise in the system. By adjusting a size of the collection area, stray deep ultraviolet light and air-scattered deep ultraviolet light can be reduced. A servo can control a position of an illumination spot that is collected by the time delay and integration sensor.