한정된 자기장을 가진 아크 소스

• Main Authors: HAGMANN JUERG, KRASSNITZER SIEGFRIED
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 04.06.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

아크 증발기는 - 냉각 판(11), 캐소드 요소로서의 타겟(1)을 포함하는 캐소드 어셈블리, - 전극, 및 - 타켓(1)의 배면(1B) 전방에 배치되는 자기 유도 시스템을 포함하며, 전극은 전극과 타겟(1)의 전면(1A) 사이에 타겟(1)의 전면(1A)의 적어도 일부를 증발시키기 위한 아크가 형성될 수 있게 하도록 배열되고, 자기 유도 시스템은 하나 이상의 자기장을 생성하는 수단을 포함하되, 여기서 - 캐소드 어셈블리의 경계들이 강자성 재료로 만들어지는 주변 쉴드(15)를 포함하고, 주변 쉴드(15)는 가로 방향으로 전체 높이(H)를 가지며, 상기 전체 높이(H)는 임의의 길이 방향으로 연장하는 자기장 라인들의 차폐 효과를 발생시키고 이러한 방식으로 캐소드 어셈블리의 경계들을 임의의 길이 방향으로 자기장 라인들의 연장의 한계로서 확립시키는 성분(C)을 포함한다. An ARC evaporator comprising: a cathode assembly comprising a cooling plate (11), a target (1) as cathode element, an electrode arranged for enabling that an arc between the electrode and the front surface (1A) of the target (1) can be established-a magnetic guidance system placed in front of the back surface (1 B) of the target (i) comprising means for generating one or more magnetic whereas: -the borders of the cathode assembly comprise a surrounding shield (15) made of ferromagnetic material, wherein the surrounding shield (15) has a total height (H) in the transversal direction, said total height (H) including a component (C) for causing a shielding effect of magnetic field lines extending in any longitudinal directions, establishing in this manner the borders of the cathode assembly as limit of the extension of the magnetic field lines in any longitudinal direction.