계측에서의 데이터 추정 기술

• Main Authors: MOSSAVAT SEYED IMAN, THEEUWES THOMAS, ONOSE ALEXANDRU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.05.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

복수 개의 데이터 세트 중 적어도 하나의 데이터 세트의 미지의 값을 추정하는 방법 및 장치로서, 각각의 데이터 세트는, 기판 내에 또는 기판 상에 제조된 하나 이상의 피쳐에 의해 회절 및/또는 반사 및/또는 산란된 방사선을 나타내는 복수 개의 값을 포함하고, 상기 복수 개의 데이터 세트는 적어도 하나의 기지의 값을 포함하며, 상기 복수 개의 데이터 세트 중 적어도 하나의 데이터 세트는 미지의 값을 포함하고, 상기 장치는 상기 적어도 하나의 데이터 세트의 미지의 값을, 상기 복수 개의 데이터 세트의 기지의 값; 상기 복수 개의 데이터 세트 중 한 데이터 세트 내에 있는 두 개 이상의 값들 사이의 제 1 조건; 및 상기 복수 개의 데이터 세트 중 그 외의 데이터 세트들의 일부인 두 개 이상의 값들 사이의 제 2 조건에 기반하여 추정하도록 구성되는 프로세서를 포함하는, 방법 및 장치. Methods and apparatus for estimating an unknown value of at least one of a plurality of sets of data, each set of data comprising a plurality of values indicative of radiation diffracted and/or reflected and/or scattered by one or more features fabricated in or on a substrate, wherein the plurality of sets of data comprises at least one known value, and wherein at least one of the plurality of sets of data comprises an unknown value, the apparatus comprising a processor configured to estimate the unknown value of the at least one set of data based on: the known values of the plurality of sets of data; a first condition between two or more values within a set of data of the plurality of sets of data; and a second condition between two or more values being part of different sets of data of the plurality of the sets of data.