UNIT FOR TRANSFERRING A SEMICONDUCTOR STRIP

• Main Authors: SHIN KUM SU, BAE HAN SU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 13.05.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A unit for transferring a semiconductor strip includes: a guide rail guiding transfer of the semiconductor strip from a loading part to a chuck stage; a strip picker movably provided on an upper portion of the guide rail and provided to pick up the semiconductor strip; and a detecting sensor provided on an upper portion or a lower portion of the end of the guide rail and detecting bending of the semiconductor strip positioned at a side portion of the guide rail. 반도체 스트립 이송 유닛은, 로딩부에서 척 스테이지로 반도체 스트립의 이송을 가이드 하는 가이드 레일, 상기 가이드 레일의 상부에 이동가능하게 구비되며, 상기 반도체 스트립을 픽업할 수 있도록 구비된 스트립 피커 및 상기 가이드 레일의 단부의 상부 또는 하부에 구비되며, 상기 가이드 레일의 측부에 위치하는 상기 반도체 스트립의 휨을 감지하는 감지 센서를 포함할 수 있다.