선형 및 회전 구동형 센서 장치들을 구비한 3축 마이크로기계식 요레이트 센서 어셈블리

• Main Authors: PRUETZ ODD AXEL, KUHLMANN NILS FELIX, LASSL ANDREAS, KUEHNEL MATTHIAS, NEUL REINHARD, DEGENFELD SCHONBURG PETER, BODE NIELS, KUHLMANN BURKHARD, LIEWALD JAN TIMO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.05.2020
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은 마이크로기계식 요레이트 센서 어셈블리 및 상응하는 제조 방법에 관한 것이다. 마이크로기계식 요레이트 센서 어셈블리는, 제1, 제2 및 제3 축(z, y, x)이 서로 수직으로 배치되어 있는 조건에서, 제2 축(y)을 중심으로 하는 제1 외부 요레이트 및 제3 축(x)을 중심으로 하는 제2 외부 요레이트를 검출하기 위해 제1 축(z)을 중심으로 진동 방식으로 회전 구동될 수 있는 제1 요레이트 센서 장치(100)와; 제1 축(z)을 중심으로 하는 제3 외부 요레이트를 검출하기 위해 구동 장치(AT; AT', AT")를 통해 제2 축(y)을 따라서 선형 진동 구동될 수 있는 제2 요레이트 센서 장치(200; 201; 202)를; 포함한다. 제2 요레이트 센서 장치(200; 201; 202)는, 구동 장치(AT; AT'; AT")를 통해 제1 요레이트 센서 장치(100)를 구동하기 위해 제1 커플링 장치(S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12)를 통해 제1 요레이트 센서 장치(100)와 연결된다. A micromechanical rotation rate sensor system and a corresponding manufacturing method are described. The micromechanical rotation rate sensor system includes a first rotation rate sensor unit drivable rotatorily about a first axis in an oscillating manner for detecting a first outside rotation rate about a second axis and a second outside rotation rate about a third axis, the first, second and third axes being situated perpendicularly to one another, and a second rotation rate sensor unit linearly drivable by a drive unit along the second axis in an oscillating manner for detecting a third outside rotation rate about the first axis. The second rotation rate sensor unit is connected to the first rotation rate sensor unit via a first coupling unit for driving the first rotation rate sensor unit by the drive unit.