Solid Inspection Apparatus And Method Of Use

• Main Authors: GRAIGE MICHAEL S, PINTO JOSEPH FRANCIS, VENKATESAN BALA MURALI K, EARNEY JOHN GERHARDT, BOWEN M. SHANE, YUAN DAJUN A, PITERA ARTHUR
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.05.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

고체 호스트 물질 및 고체 호스트 물질 내에 매립된 형광성 물질을 포함하는 광학 표적을 포함하는 검사 장치가 제공된다. 고체 호스트 물질은 미리 결정된 포논 에너지 HOST를 갖는다. 형광성 물질은 선택 기저 에너지 준위 및 관심 대상 형광 방출 파장에 상응하는 제1 에너지 갭만큼 기저 에너지 준위로부터 분리된 표적 여기(TE) 에너지 준위를 나타낸다. 형광성 물질은 TE 에너지 준위에 대하여 다음으로 낮게 위치한(NLL) 에너지 준위를 갖는다. NLL 에너지 준위는 TE 에너지 준위 아래에 제2 에너지 갭 FM만큼 간격을 두고, 여기서 FM/HOST의 비는 3 이상이다. An inspection apparatus is provided that comprises an optical target including a solid host material and a fluorescing material embedded in the solid host material. The solid host material has a predetermined phonon energy HOSTPE. The fluorescing material exhibits a select ground energy level and a target excitation (TE) energy level separated from the ground energy level by a first energy gap corresponding to a fluorescence emission wavelength of interest. The fluorescing material has a next lower lying (NLL) energy level relative to the TE energy level. The NLL energy level is spaced a second energy gap FMEG2 below the TE energy level, wherein a ratio of the FMEG2/HOSTPE is three or more.