계측 빔 안정화를 위한 시스템들 및 방법들

• Main Authors: SAPIENS NOAM, FRIEDMANN MICHAEL, BLASENHEIM BARRY
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 07.05.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

회전 편광기 요소에 의한 편광의 변화들의 영향을 받는 광학 측정 빔을 능동적으로 안정화시키면서 시료를 측정하기 위한 방법들 및 시스템들이 본 명세서에서 설명된다. 회전 편광기 요소에 의해 유도되는 집속 측정 빔 스폿의 이동은 집속 측정 빔 스폿의 측정들에 기초하여 빔 경로에서의 광학 요소의 위치를 능동적으로 제어함으로써 보상된다. 피드백 제어 스킴 및 피드포워드 제어 스킴 둘 다는 빔 위치 에러를 감소시키기 위해 이용될 수 있다. 일 양태에서, 측정 시스템은 회전 광학 편광기, 빔 위치 센서, 및 조명 빔 경로, 수집 빔 경로, 또...