계측 빔 안정화를 위한 시스템들 및 방법들

• Main Authors: SAPIENS NOAM, FRIEDMANN MICHAEL, BLASENHEIM BARRY
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 07.05.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

회전 편광기 요소에 의한 편광의 변화들의 영향을 받는 광학 측정 빔을 능동적으로 안정화시키면서 시료를 측정하기 위한 방법들 및 시스템들이 본 명세서에서 설명된다. 회전 편광기 요소에 의해 유도되는 집속 측정 빔 스폿의 이동은 집속 측정 빔 스폿의 측정들에 기초하여 빔 경로에서의 광학 요소의 위치를 능동적으로 제어함으로써 보상된다. 피드백 제어 스킴 및 피드포워드 제어 스킴 둘 다는 빔 위치 에러를 감소시키기 위해 이용될 수 있다. 일 양태에서, 측정 시스템은 회전 광학 편광기, 빔 위치 센서, 및 조명 빔 경로, 수집 빔 경로, 또는 둘 다 내의 능동 빔 보상 요소를 포함한다. 빔 위치 에러들은 빔 위치 센서에 의해 검출되고, 측정된 빔 위치 에러들을 감소시키기 위해 제어 커맨드들이 능동 빔 보상 요소에 전달된다. Methods and systems for measuring a specimen while actively stabilizing an optical measurement beam subject to changes in polarization by a rotating polarizer element are described herein. Movement of a focused measurement beam spot induced by a rotating polarizer element is compensated by actively controlling the position of an optical element in the beam path based on measurements of the focused measurement beam spot. Both feedback and feedforward control schemes may be employed to reduce beam position error. In one aspect, a measurement system includes a rotating optical polarizer, a beam position sensor, and an active beam compensating element in the illumination beam path, the collection beam path, or both. Beam position errors are detected by the beam position sensor, and control commands are communicated to the active beam compensating element to reduce the measured beam position errors.