타일링된 멤브레인 스페이스 트랜스포머를 갖는 수직형 프로브 어레이

• Main Authors: KUHNERT SCOTT, COUSSENS JEFFREY, ELDRIDGE BENJAMIN N, WATANABE MASANORI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.04.2020
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

몇몇 섹션들로 측방향으로 타일링된 스페이스 트랜스포머를 갖는 수직형 프로브 헤드들이 제공된다. 종래의 접근법들에 대한 이러한 변화는 제조 수율을 개선시킨다. 이 프로브 헤드들은 금속 접지면들을 포함할 수 있고, 접지면들이 가이드 플레이트들에 평행한 별개의 금속 플레이트들로서 제공되는 실시예들에서, 금속 플레이트들은 또한 몇몇 섹션들로 측방향으로 타일링될 수 있다. 금속 플레이트들의 그러한 타일링은 제조 수율을 개선시키며, 열 불일치 문제들을 완화시킨다. 프로브들은 스페이스 트랜스포머에 기계적으로 연결되지 않으며, 이는 어레이의 개별 프로브들의 교체를 가능하게 한다. Vertical probe heads having a space transformer laterally tiled into several sections are provided. This change relative to conventional approaches improves manufacturing yield. These probe heads can include metal ground planes, and in embodiments where the ground planes are provided as separate metal plates parallel to the guide plates, the metal plates can also be laterally tiled into several sections. Such tiling of metal plates improves manufacturing yield and alleviates thermal mismatch issues. Probes are not mechanically connected to the space transformer, which facilitates replacement of individual probes of an array.