Apparatus for supporting substrate to substrate holder and/or for releasing substrate supporting state by substrate holder and plating apparatus having thereof

• Main Author: TSUSHIMA TAKUYA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 16.04.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention provides a substrate detaching apparatus which can be suitable for a double-sided holder. In an apparatus for holding and supporting a substrate on a substrate holder and/or for releasing holding and supporting of a substrate by a substrate holder, the substrate holder includes a first frame and a second frame, and each of the first frame and the second frame has an opening. The apparatus includes a substrate supporting unit to hold a substrate between the first frame and the second frame. The substrate supporting unit includes a lower substrate supporter and an upper substrate supporter. The lower substrate supporter is configured to come in contact with a substrate through the opening of a frame positioned below, and the upper substrate supporter is configured to come in contact with a substrate through the opening of a frame positioned above. 양면 홀더에 적합할 수 있는 기판 착탈 장치를 제공한다. 기판 홀더에 기판을 보유지지시키기 위한 및/또는 기판 홀더에 의한 기판의 보유지지를 해제하기 위한 장치로서, 기판 홀더는 제1 프레임 및 제2 프레임을 구비하고, 제1 프레임 및 제2 프레임 각각은 개구를 가지며, 장치는, 제1 프레임 및 제2 프레임의 사이에서 기판을 협지하기 위한 기판 서포팅 유닛을 구비하고, 기판 서포팅 유닛은, 하부 기판 서포터와, 상부 기판 서포터를 구비하며, 하부 기판 서포터는 하방에 위치하는 프레임의 개구를 통해 기판과 접촉하도록 구성되어 있고, 상부 기판 서포터는 상방에 위치하는 프레임의 개구를 통해 기판과 접촉하도록 구성되어 있는, 장치를 개시한다.