관성 센서를 갖는 진공 밸브

본 발명은 적어도 하나의 관성 센서(11a, 11b, 11c, 11d, 11e)를 갖는 센서 배열을 갖는 진공 밸브에 관한 것이며, 센서 배열은 밸브에 충격을 주는 가속도에 관한 측정 신호를 검출하는 방식으로 설계된다. Disclosed is a vacuum valve with a sensor arrangement having at least one inertial sensor, where the sensor arrangement is designed in such a way it detects a measuring signal w...

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Main Authors HOFER ANDREAS, ESCHENMOSER ADRIAN
Format Patent
LanguageKorean
Published 09.03.2020
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Summary:본 발명은 적어도 하나의 관성 센서(11a, 11b, 11c, 11d, 11e)를 갖는 센서 배열을 갖는 진공 밸브에 관한 것이며, 센서 배열은 밸브에 충격을 주는 가속도에 관한 측정 신호를 검출하는 방식으로 설계된다. Disclosed is a vacuum valve with a sensor arrangement having at least one inertial sensor, where the sensor arrangement is designed in such a way it detects a measuring signal with respect to an acceleration impacting on the valve.
Bibliography:Application Number: KR20207000361