건조 장치 및 기판 건조 방법

• Main Authors: HANSEN STEFAN, UIHLEIN MARKUS, ROSSHART TOBIAS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.03.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BLASTING; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; DRYING; DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HEATING; LIGHTING; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; MECHANICAL ENGINEERING; PRINTED CIRCUITS; SEMICONDUCTOR DEVICES; WEAPONS

본 발명은, 건조 장치(1)로서, 적어도 하나의 상부 건조 헤드(2a) 및 적어도 하나의 하부 건조 헤드(3a)를 포함하고, 적어도 하나의 상부 건조 헤드(2a)는 건조될 물체가 건조 장치(1)를 통해 이송 방향(9)으로 이송될 수 있는 이송 평면(8) 위에 배치되고, 적어도 하나의 하부 건조 헤드(3a)는 상기 이송 평면(8) 아래에 배치되고, 적어도 하나의 상부 건조 헤드(2a) 및 적어도 하나의 하부 건조 헤드(3a)가 각각의 경우에 적어도 하나의 공기 배출 슬롯(4a, 5a)을 포함하고 상기 공기 배출 슬롯(4a, 5a)의 길이 방향은 이송 평면(8)에 실질적으로 평행하고 이송 방향(9)을 가로지르게 연장하고, 상기 공기 배출 슬롯이 연장하는 슬롯 평면(11)은 0°보다 크고 90°보다 작은 각도(a)로 이송 평면(8)과 교차하는 상기 건조 장치(1)와, 연속 시스템에서 평면 기판(7)을 건조시키는 방법에 관한 것이다. A drying device contains an upper drying head and a lower drying head. The upper drying head is arranged above a transport plane, in which objects to be dried can be transported in a transport direction through the drying device. The lower drying head is arranged below the transport plane. The upper drying head and the lower drying head contain in each case at least one air outlet slot and the longitudinal directions of the air outlet slots essentially extending parallel to the transport plane and transversely to the transport direction, and in which slot planes, in which the air outlet slots extend, intersect the transport plane at angles which are greater than 0° and less than 90°.