LED Probe socket device for micro LED inspection and manufacturing method thereof

• Main Author: SEO, KANG IL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.02.2020
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

Various embodiments of the present invention relate to a probe socket device for micro LED inspection and to a manufacturing method thereof. One embodiment of the present invention provides the probe socket device for micro LED inspection, which comprises: a probe socket formed of an adhesive layer and conductive particles arranged anchored to the adhesive layer; and a probe substrate formed of a dielectric layer and an electrode pattern formed on the dielectric layer and electrically connected to the conductive particles. Disclosed is the probe socket device for micro LED inspection, in which the conductive particles of the probe socket are electrically connected to a pad of a micro LED formed on a wafer to perform a test process. 본 발명의 다양한 실시예는 마이크로 LED 검사용 프로브 소켓 디바이스 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예는 접착층과, 접착층에 앵커링되어 배열된 도전성 입자로 이루어진 프로브 소켓; 유전층과, 유전층에 형성되고 도전성 입자에 전기적으로 접속된 전극패턴으로 이루어진 프로브 기판을 포함하고, 상기 프로브 소켓의 도전성 입자가 웨이퍼에 형성된 마이크로 LED의 패드에 전기적으로 접속되어 테스트 공정을 수행하는 마이크로 LED 검사용 프로브 소켓 디바이스를 개시한다.