하전 입자선 장치 및 시료의 두께 측정법

하전 입자선 장치는, 시료 위에 배치된 층에 상기 하전 입자선이 조사되었을 때에 얻어지는 하전 입자 신호의 강도 또는 강도비와 상기 층의 두께와의 관계를 나타내는 관계 정보를 기억한 기억부와, 상기 관계 정보와, 상기 하전 입자 신호의 강도 또는 강도비를 이용하여, 상기 층의 두께를 상기 시료의 두께로서 산출하는 연산부를 구비한다. Provided is a charged particle beam device which includes a storage unit that stores relationship information ind...

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Main Authors NOMAGUCHI TSUNENORI, SATO TAKAHIRO
Format Patent
LanguageKorean
Published 08.01.2020
Subjects
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
MEASURING ANGLES
MEASURING AREAS
MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS
PHYSICS
TESTING
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Summary:하전 입자선 장치는, 시료 위에 배치된 층에 상기 하전 입자선이 조사되었을 때에 얻어지는 하전 입자 신호의 강도 또는 강도비와 상기 층의 두께와의 관계를 나타내는 관계 정보를 기억한 기억부와, 상기 관계 정보와, 상기 하전 입자 신호의 강도 또는 강도비를 이용하여, 상기 층의 두께를 상기 시료의 두께로서 산출하는 연산부를 구비한다. Provided is a charged particle beam device which includes a storage unit that stores relationship information indicating a relationship between intensity or an intensity ratio of a charged particle signal obtained when a layer disposed on the sample is irradiated with the charged particle beam and a thickness of the layer; and a calculation unit that calculates the thickness of the layer as a thickness of the sample by using the relationship information and the intensity or the intensity ratio of the charged particle signal.
Bibliography:Application Number: KR20197035055