플로팅 웨이퍼 척

엣지 그립퍼는 척의 외부 엣지 주위에 배치된다. 엣지 그립퍼 각각은 포인트를 중심으로 피봇하도록 구성된 핑거; 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 콘택트 패드; 및 콘택트 패드와 핑거 사이에 배치된 굴곡부(flexure)를 포함한다. 굴곡부는 척을 향해 그리고 척으로부터 멀리 굴곡되도록 구성된다. 척은, 척 위에서 웨이퍼가 플로팅되는 것을 유지하도록 디자인된 진공 및 압력 노즐의 매트릭스를 사용할 수 있다. 엣지 그립퍼는, 웨이퍼의 변형을 최소화하거나 웨이퍼의 z-지터에 영향을 주지 않으면서, 엣지에서 웨이퍼를 유지할 수 있다. Edge g...

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Main Authors BALAN AVIV, VISHAL VAIBHAW
Format Patent
LanguageKorean
Published 23.12.2019
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:엣지 그립퍼는 척의 외부 엣지 주위에 배치된다. 엣지 그립퍼 각각은 포인트를 중심으로 피봇하도록 구성된 핑거; 웨이퍼와 접촉하도록 구성된 콘택트 패드; 및 콘택트 패드와 핑거 사이에 배치된 굴곡부(flexure)를 포함한다. 굴곡부는 척을 향해 그리고 척으로부터 멀리 굴곡되도록 구성된다. 척은, 척 위에서 웨이퍼가 플로팅되는 것을 유지하도록 디자인된 진공 및 압력 노즐의 매트릭스를 사용할 수 있다. 엣지 그립퍼는, 웨이퍼의 변형을 최소화하거나 웨이퍼의 z-지터에 영향을 주지 않으면서, 엣지에서 웨이퍼를 유지할 수 있다. Edge grippers are disposed around an outer edge of a chuck. Each of the edge grippers includes a finger configured to pivot around a point; a contact pad configured to contact the wafer; and a flexure disposed between the contact pad and the finger. The flexure is configured to flex toward and away from the chuck. The chuck can use a matrix of vacuum and pressure nozzles designed to keep a wafer floating above the chuck. The edge grippers can hold the wafer at the edge while minimizing deformation of the wafer or without affecting z-jitter of the wafer.
Bibliography:Application Number: KR20197036631