Wafer transfer unit and wafer transfer system

• Main Authors: NETZER MARTIN, SWAIN THOMAS L, HOFER ANDREAS, APOLLONI MARCO, EHRNE FLORIAN, BELLERI ELIGIO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 18.12.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Disclosed is a wafer transfer unit capable of increasing cost efficiency and/or unit quality efficiency. According to the present invention, the wafer transfer unit comprises: one or more data processing units (10) formed to register and/or process sensor data of one or more sensors (12, 12′, 12″, 32, 32′, 38, 38′) assigned to one or more lower components of a wafer transfer system (16) of a sensor module (14, 14′); a wafer processing module (18) of the wafer transfer system (16); one or more wafer interface systems (20) of the wafer transfer system (16) including a loading and/or unloading station (24) and a wafer transfer vessel (22) to load and/or unload the wafer processing module (18) and/or the wafer transfer vessel (22); and one or more wafer transfer vessel systems (26) of the wafer transfer system (16) and/or one or more wafer processing robots (28) of the wafer transfer system (16). 웨이퍼 이송 유닛이 제안되며, 상기 웨이퍼 이송 유닛은 센서 모듈(14, 14')의 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 하위 구성요소에 할당된 하나 이상의 센서(12, 12', 12", 32, 32', 38, 38')의 센서 데이터의 등록 및/또는 처리를 위해 구성되는 하나 이상의 데이터 처리 유닛(10)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 웨이퍼 처리 모듈(18)을 포함하며, 웨이퍼 처리 모듈(18) 및/또는 웨이퍼 이송 용기(22)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(24) 및 웨이퍼 이송 용기(22)를 갖는 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 인터페이스 시스템(20)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 이송 용기 이송 시스템(26) 및/또는 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 처리 로봇(28)을 포함한다.