인라인 부품 평균 테스팅 및 잠재 신뢰성 결함 검출을 위한 방법들 및 시스템들

• Main Authors: RATHERT ROBERT J, SHERMAN KARA L, SUTHERLAND DOUGLAS G, PRICE DAVID W, CAPPEL ROBERT
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 01.11.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

인라인 부품 평균 테스팅 및 잠재 신뢰성 결함 인식 또는 검출을 위한 방법들 및 시스템들이 개시된다. 인라인 부품 평균 테스팅 방법은: 웨이퍼 제조 동안 복수의 중요 단계들에서 복수의 웨이퍼들에 인라인 검사 및 계측을 수행하는 단계; 하나 이상의 프로세서를 이용하여 인라인 검사 및 계측으로부터 획득된 검사 결과들을 집계하여 복수의 웨이퍼들에 대한 복수의 집계된 검사 결과들을 획득하는 단계; 복수의 웨이퍼들에 대해 획득된 복수의 집계된 검사 결과들에 적어도 부분적으로 기초하여 복수의 웨이퍼들 중에서 하나 이상의 통계적 이상치를 식별하는 단계; 및 하나 이상의 통계적 이상치를, 다운스트림 제조 프로세스를 위한 공급망에 들어가는 것에 실격시키거나, 추가 평가, 테스팅 또는 리퍼포징을 위해 하나 이상의 통계적 이상치를 분리시키는 단계를 포함할 수 있다. Methods and systems for inline parts average testing and latent reliability defect recognition or detection are disclosed. An inline parts average testing method may include: performing inline inspection and metrology on a plurality of wafers at a plurality of critical steps during wafer fabrication; aggregating inspection results obtained from inline inspection and metrology utilizing one or more processors to obtain a plurality of aggregated inspection results for the plurality of wafers; identifying one or more statistical outliers among the plurality of wafers at least partially based on the plurality of aggregated inspection results obtained for the plurality of wafers; and disqualifying the one or more statistical outliers from entering a supply chain for a downstream manufacturing process, or segregating the one or more statistical outliers for further evaluation, testing or repurposing.