METHOD OF TRANSFERRING MICRO DEVICES

• Main Authors: HWANGBO YUN, YOON SUNG UK, KIM KYUNG SIK, CHOI BYUNG IK, KIM CHANG HYUN, KIM JUNG YUP, KIM JAE HYUN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

According to an embodiment of the present invention, a method for transferring a micro-device, which can be applied to various micro-devices and can increase the transfer efficiency. The method of the present invention comprises the following steps: transferring a target substrate at a first speed in a first direction; disposing a micro-device attached to a transfer film to face an upper portion of the target substrate, and supplying the transfer film in the first direction; separating the transfer film from the micro-device transferred to the target substrate to be bent upward so as to form a bending arc, and transferring a pressure to a lower transfer film supplied by attaching the micro-device while an upper transfer film transferred after forming the bending arc is pressed by a pressing roller rotated at an upper side of the target substrate; and transferring and collecting the upper transfer film transferred after forming the bending arc in a second direction opposite to the first direction at a second speed. A first center of the bending arc is formed in front of the second center of the pressing roller with respect to the first direction. 본 발명의 일실시예는 더 다양한 마이크로 소자에 적용할 수 있고 전사 효율을 높일 수 있는 마이크로 소자 전사방법을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사방법은 제1방향을 따라 제1속도로 타깃기판을 이송시키는 단계와, 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 타깃기판의 상부에 대향되게 배치하고 전사필름을 제1방향을 따라 공급하는 단계와, 전사필름이 타깃기판에 전사되는 마이크로 소자에서 분리된 후 상측으로 굽어져 굽힘원호를 형성하고, 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 타깃기판의 상측에서 회전하는 가압롤러에 의해 가압되면서 마이크로 소자가 점착되어 공급되는 하측 전사필름에 압력이 전달되도록 하는 단계와, 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 제1방향의 반대방향인 제2방향을 따라 제2속도로 이송되어 회수되는 단계를 포함하고, 제1방향을 기준으로, 굽힘원호의 제1중심은 가압롤러의 제2중심보다 전방에 형성된다.