진공 챔버에서의 캐리어 정렬을 위한 장치 및 진공 시스템, 및 캐리어의 정렬 방법

• Main Authors: HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, VERCESI TOMMASO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 15.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

진공 챔버(101)에서 캐리어를 정렬시키기 위한 장치(100)가 설명된다. 이 장치는 제1 이송 경로를 따라 제1 방향(X)으로 제1 캐리어(10)를 이송하도록 구성된 제1 캐리어 이송 시스템(120), 및 정렬 시스템(130)을 포함한다. 정렬 시스템은 제1 캐리어(10)를 정렬 시스템(130)에 장착하기 위한 제1 마운트(152), 적어도 하나의 정렬 방향으로 제1 마운트(152)를 이동시키도록 구성된 정렬 디바이스(151), 및 제1 방향(X)을 횡단하는 제2 방향(Z)으로 정렬 디바이스(151)를 제1 마운트(152)와 함께 이동시키도록 구성된 제1 시프팅 디바이스(141)를 포함한다. 또한, 캐리어를 정렬시키기 위한 방법 및 진공 시스템이 설명된다. An apparatus (100) for aligning a carrier in a vacuum chamber (101) is described. The apparatus includes a first carrier transport system (120) configured to transport a first carrier (10) along a first transport path in a first direction (X), and an alignment system (130). The alignment system comprises a first mount (152) for mounting the first carrier (10) to the alignment system (130), an alignment device (151) configured to move the first mount (152) in at least one alignment direction, and a first shifting device (141) configured to move the alignment device (151) together with the first mount (152) in a second direction (Z) transverse to the first direction (X). Further, a vacuum system and a method for aligning a carrier are described.