진공 챔버 내에서의 캐리어 정렬을 위한 장치 및 진공 시스템, 및 캐리어를 정렬하는 방법

진공 챔버(101) 내에서의 캐리어 정렬을 위한 장치(100)가 설명된다. 장치는 진공 챔버(101) 내에서 제1 방향(X)으로 연장되는 지지부(110), 진공 챔버(101) 내에서 제1 방향(X)으로 제1 캐리어(10)를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템(120) - 자기 부상 시스템은 적어도 하나의 자석 유닛(121)을 포함함 -, 및 제1 캐리어(10)를 정렬하기 위한 정렬 시스템(130)을 포함한다. 적어도 하나의 자석 유닛(121) 및 정렬 시스템은 지지부(110)에 견고하게 고정된다. 또한, 진공 시스템, 및 캐리어를...

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Main Authors HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, OLDENDORF ULRICH, HUWIG ACHIM, VERCESI TOMMASO
Format Patent
LanguageKorean
Published 15.10.2019
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