진공 챔버 내에서의 캐리어 정렬을 위한 장치 및 진공 시스템, 및 캐리어를 정렬하는 방법

• Main Authors: HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, OLDENDORF ULRICH, HUWIG ACHIM, VERCESI TOMMASO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 15.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

진공 챔버(101) 내에서의 캐리어 정렬을 위한 장치(100)가 설명된다. 장치는 진공 챔버(101) 내에서 제1 방향(X)으로 연장되는 지지부(110), 진공 챔버(101) 내에서 제1 방향(X)으로 제1 캐리어(10)를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템(120) - 자기 부상 시스템은 적어도 하나의 자석 유닛(121)을 포함함 -, 및 제1 캐리어(10)를 정렬하기 위한 정렬 시스템(130)을 포함한다. 적어도 하나의 자석 유닛(121) 및 정렬 시스템은 지지부(110)에 견고하게 고정된다. 또한, 진공 시스템, 및 캐리어를 정렬하는 방법이 설명된다. An apparatus for carrier alignment in a vacuum chamber is described. The apparatus includes a support extending in a first direction in the vacuum chamber, a magnetic levitation system configured to transport a first carrier in the first direction in the vacuum chamber, the magnetic levitation system comprising at least one magnet unit, and an alignment system for aligning the first carrier. The at least one magnet unit and the alignment system are rigidly fixed to the support. Further, a vacuum system and a method of aligning a carrier are described.