APPARATUS AND TECHNIQUES FOR ELECTRONIC DEVICE ENCAPSULATION

• Main Authors: BUCHNER CHRISTOPHER, KO ALEXANDER SOU KANG, MAUCK JUSTIN, HARJEE NAHID, RABINOVICH EUGENE, LEWIS GREGORY, MADIGAN CONOR F, VRONSKY ELIYAHU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 19.09.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; LINING MACHINES; PERFORMING OPERATIONS; PRINTING; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS; SEMICONDUCTOR DEVICES; STAMPS; TRANSPORTING; TYPEWRITERS

유기 발광 다이오드(OLED) 장치와 같은 발광 장치를 제조하느데 사용하기 위한 장치 및 기술은 제어된 환경을 가진 하나 이상의 모듈을 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 제어된 환경은 대략 대기압 또는 대기압에서 유지될 수 있다. 모듈은 다양한 프로세싱 영역을 제공하고, OLED 장치의 유기 인캡슐레이션 층(OEL)과 같은 OLED 장치의 하나 이상의 패턴화된 유기층을 프린팅, 아니면 증착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예시로서, 기판을 위한 균일한 기계적 지지대는, 가령, 프린팅 작업, 홀딩 작업 또는 OEL 제작 공정을 포함하는 경화 작업 중에 하나 이상의 작업 동안에, 가스 쿠션을 사용하여 적어도 일부에 제공될 수 있다. 또 다른 예시에서, 기판을 위한 균일한 기계적 지지대는 가령, 다공성 매질에 의해 제공되는 것과 같이, 분산된 진공 영역을 사용하여 제공될 수 있다. Apparatus and techniques for use in manufacturing a light emitting device, such as an organic light emitting diode (OLED) device can include using one or more modules having a controlled environment. The controlled environment can be maintained at a pressure at about atmospheric pressure or above atmospheric pressure. The modules can be arranged to provide various processing regions and to facilitate printing or otherwise depositing one or more patterned organic layers of an OLED device, such as organic encapsulation layer (OEL) of an OLED device. In an example, uniform mechanical support for a substrate can be provided at least in part using a gas cushion, such as during one or more of a printing, holding or curing operation comprising an OEL fabrication process. In another example, uniform mechanical support for the substate can be provided using a distribution vacuum region, such as provided by a porous medium.