광대역 적외선 방사선을 사용한 검사 및 계측

광대역 적외선 방사선을 사용하여 반도체 구조물들을 측정하거나 검사하기 위한 시스템들 및 방법들이 개시된다. 이 시스템은 펌프 광을 생성하도록 구성된 펌프 소스 및 펌프 광에 응답하여 광대역 IR 방사선을 생성하도록 구성된 비선형 광학(NLO) 어셈블리를 포함하는 조명 소스를 포함할 수 있다. 이 시스템은 검출기 어셈블리 및 IR 방사선을 샘플 상으로 지향시키고 샘플로부터 반사된 및/또는 산란된 IR 방사선의 일 부분을 검출기 어셈블리로 지향시키도록 구성된 광학계 세트를 또한 포함할 수 있다. Systems and methods fo...

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Main Authors FIELDEN JOHN, CHUANG YUNG HO ALEX, ESFANDYARPOUR VAHID, ZHANG BAIGANG, XIAOLI YINYING
Format Patent
LanguageKorean
Published 18.09.2019
Subjects
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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Summary:광대역 적외선 방사선을 사용하여 반도체 구조물들을 측정하거나 검사하기 위한 시스템들 및 방법들이 개시된다. 이 시스템은 펌프 광을 생성하도록 구성된 펌프 소스 및 펌프 광에 응답하여 광대역 IR 방사선을 생성하도록 구성된 비선형 광학(NLO) 어셈블리를 포함하는 조명 소스를 포함할 수 있다. 이 시스템은 검출기 어셈블리 및 IR 방사선을 샘플 상으로 지향시키고 샘플로부터 반사된 및/또는 산란된 IR 방사선의 일 부분을 검출기 어셈블리로 지향시키도록 구성된 광학계 세트를 또한 포함할 수 있다. Systems and methods for measuring or inspecting semiconductor structures using broadband infrared radiation are disclosed. The system may include an illumination source comprising a pump source configured to generate pump light and a nonlinear optical (NLO) assembly configured to generate broadband IR radiation in response to the pump light. The system may also include a detector assembly and a set of optics configured to direct the IR radiation onto a sample and direct a portion of the IR radiation reflected and/or scattered from the sample to the detector assembly.
Bibliography:Application Number: KR20197026122