AN ADAPTABLE-MODULAR OPTICAL SENSOR BASED PROCESS CONTROL SYSTEM AND METHOD OF OPERATION THEREOF

• Main Authors: DAIGNAULT RICHARD J. JR, GU ZHIYONG, CHEN HONG, LYNES SEAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 11.09.2019
• Subjects: CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING

According to the present disclosure, provided are a method for operating a process control system and a process control system. In one embodiment, the process control system comprises: (1) an optical sensor configured to monitor a production process in a process chamber and to generate optical data therefrom; (2) an operation controller configured to perform important functions to determine processing states of a production process from the optical data, wherein the important functions are indicated by important function controls; and (3) an adaptable management controller configured to provide the important function controls to the operation controller, and hierarchically isolated from the operation controller while performing the important functions. 프로세스 제어 시스템을 작동시키는 방법 및 프로세스 제어 시스템이 본 개시에 의해 제공된다. 일 실시예에서, 프로세스 제어 시스템은: (1) 프로세스 챔버 내 생산 프로세스를 모니터링하고 그로부터 광 데이터를 생성하도록 구성된 광 센서, (2) 광 데이터로부터 생산 프로세스의 처리 상태들을 결정하기 위해 중요 기능들을 수행하도록 구성된 작동 제어기로서, 중요 기능들은 중요 기능 제어들에 의해 지시되는, 상기 작동 제어기, 및 (3) 중요 기능 제어들을 작동 제어기에 제공하도록 구성된 적응 가능한 관리 제어기로서, 적응 가능한 관리 제어기는 중요 기능들 동안 작동 제어기로부터 계층적으로 격리되는, 상기 적응 가능한 관리 제어기를 포함한다.