HEAT TREATMENT APPARATUS AND HEAT TREATMENT METHOD

• Main Authors: UEDA AKITSUGU, OMORI MAO, AOYAMA TAKAYUKI, AMAGO KAZUNORI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.09.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention provides a heat treatment apparatus and a heat treatment method, which are capable of maintaining measurement accuracy in a low oxygen concentration range even when the measurement of the oxygen concentration is suspended. When pressure in a chamber (6) is brought to atmospheric pressure and the chamber (6) is filled with an inert gas atmosphere, the atmosphere in the chamber (6) is inducted into an oxygen concentration analyzer (91) through a sampling line (92) such that oxygen concentration in the chamber (6) is measured by the oxygen concentration analyzer (91). When the pressure in the chamber (6) is reduced to less than atmospheric pressure, nitrogen gas is supplied to the oxygen concentration analyzer (91) through an inert gas supply line (94) simultaneously with suspending the measurement of oxygen concentration in the chamber (6). Even when the measurement of oxygen concentration in the chamber (6) is suspended, reverse flow to the oxygen concentration analyzer (91) from a gas exhaust pipe (88) can be prevented, and the oxygen concentration analyzer (91) can be prevented from being exposed to exhaust from the chamber (6). The configuration results in maintaining measurement accuracy of the oxygen concentration analyzer (91) in the low oxygen concentration range. (과제) 산소 농도의 측정을 중단했을 때에도, 저산소 농도역에서의 측정 정밀도를 유지할 수 있는 열처리 장치 및 열처리 방법을 제공한다. (해결 수단) 챔버(6) 내의 압력이 대기압이 되고, 또한 챔버(6) 내가 불활성 가스의 분위기로 되어 있을 때에는, 챔버(6) 내의 분위기가 샘플링 라인(92)을 거쳐 산소 농도계(91)에 흡인되고, 챔버(6) 내의 산소 농도가 산소 농도계(91)에 의해 측정된다. 챔버(6) 내가 대기압 미만으로 감압되면, 챔버(6) 내의 산소 농도의 측정을 중단함과 동시에, 불활성 가스 공급 라인(94)으로부터 산소 농도계(91)로 질소 가스를 공급한다. 챔버(6) 내의 산소 농도의 측정을 중단했을 때에도, 가스 배기관(88)으로부터 산소 농도계(91)로의 역류를 방지할 수 있고, 산소 농도계(91)가 챔버(6)로부터의 배기에 노출되는 것을 방지하여 산소 농도계(91)의 저산소 농도역에서의 측정 정밀도를 유지할 수 있다.