개선된 주파수 특성을 가지는 테스트 헤드

• Main Author: MAGGIONI FLAVIO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 04.09.2019
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

반도체 웨이퍼 상에 집적된 피검 디바이스의 작동을 검증할 수 있도록 구성된 테스트 헤드(20)는 복수의 콘택 부재(21', 21'', 21''')를 수용할 수 있도록 구성된 복수의 가이드 홀(40h, 41h, 42h)을 구비한 적어도 하나의 가이드(40, 41, 42)를 포함하며, 콘택 부재(21', 21'', 21''') 각각은 제 1 말단부(24)와 제 2 말단부(25)의 사이에서 연장되어 있는 바디(21pr, 21pp)를 포함한다. 편리하게, 상기 적어도 하나의 가이드(40, 41, 42)는 적어도 하나의 도전부(30', 30'', 30''')를 포함하는데, 상기 도전부(30', 30'', 30''')는 상기 가이드 홀들(40h, 41h, 42h) 중 적어도 하나의 그룹의 홀들(40', 40''; 40'''; 41'; 41'', 41'''; 42', 42'', 42''')을 포함하고 이들을 서로 전기적으로 연결하며 상기 콘택 부재들(21', 21'', 21''')의 대응 그룹에 잘 접촉하고, 이러한 대응 그룹의 콘택 부재들(21', 21'', 21''')은 동일한 타입의 신호를 전달할 수 있도록 구성된다. A testing head apt to verify the operation of a device under test integrated on a semiconductor wafer includes a plurality of contact elements, each including a body that extends between a first end portion and a second end portion, and a guide provided with a plurality of guide holes apt to house the contact elements. The guide includes a conductive portion that includes and electrically connects the holes of a group of guide holes to each other and is apt to contact a corresponding group of contact elements apt to carry a same type of signal.