운송 잠금 장치를 갖는 광학 장치, 특히 리소그래피 시스템

• Main Authors: KULITZKI VIKTOR, PROCHNAU JENS, AHLES FLORIAN, ZWEERING RALF, WAGNER HENDRIK, ERATH MICHAEL, NEFZI MARWENE, FRITZSCHE STEFFEN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.09.2019
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

본 발명은, 제1 구성요소(19), 특히 지지 프레임, 제1 구성요소(19)에 대해 이동 가능한 제2 구성요소(13), 특히 미러, 및 또한 제1 구성요소(19)에 대한 제2 구성요소(13)의 이동을 제한하기 위한 적어도 하나의 정지면(20a, 20b)을 갖는 적어도 하나의 정지부(20)를 포함하는 광학 장치, 예를 들어 리소그래피 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일 양태에서, 광학 장치, 바람직하게는 정지부(20)는 적어도 정지부(20)의 정지면(21a, 21b)에 대해 이동 가능한 고정 요소(24)를 포함하는, 제2 구성요소(13)를 고정하기 위한 고정 디바이스(23)를 갖는다. 본 발명의 다른 양태는 마찬가지로 고정 디바이스 또는 운송 잠금 장치를 갖는 광학 장치에 관한 것이다. An optical arrangement, for example a lithography system, includes: a first component, in particular a carrying frame; a second component, in particular a mirror, which is movable in relation to the first component; and at least one stop with at least one stop face for limiting the movement of the second component in relation to the first component. The optical arrangement, preferably the stop, can have a fixing device for fixing the second component. The fixing device can have a fixing element that is movable in relation to the stop face of the stop. Further aspects of the device likewise relate to an optical arrangement with a fixing device or with a transport lock.