향상된 필터링 특성을 갖는 전자 소자의 테스트 장치용 프로브 헤드

• Main Author: MAGGIONI FLAVIO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 28.08.2019
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

복수개의 콘택 프로브(contact probe)(21A, 21B, 21C)를 포함한 프로브 헤드(probe head)(20)가 설명된다. 콘택 프로브(contact probe)(21A, 21B, 21C)는 플레이트형 지지부(support)(22)에 구현된 복수의 가이드 홀(hole)(25A, 27A, 29A, 36A; 25B, 27B, 29B, 36B; 28C, 29C, 36C) 각각에 슬라이딩 가능하게 수용되며, 복수의 콘택 프로브(contact probe)(21A, 21B, 21C)는 접지 및 전원 신호(GND, PWR)를 전달하는 적어도 제 1 그룹 콘택 프로브(contact probe)(21A, 21B)를 포함한다. 적절하게, 프로브 헤드(probe head)(20)는 지지부(support)(22) 상에 구현된 전도성 부분(22A, 27A)에 전기적으로 연결된 적어도 하나의 레어폴(31) 및 제 1 그룹의 콘택 프로브(contact probe)(21A, 21B)의 적어도 하나의 하우징 가이드 홀(hole)(25A, 29A)을 갖는 적어도 하나의 필터링 캐패시터(30)를 포함한다. A probe head comprises a plate-shaped support including respective pluralities of guide holes, a plurality of contact probes being slidingly housed in the respective pluralities of guide holes and including at least a first group of contact probes being apt to carry only one type of signal chosen between ground and power supply signals, a conductive portion realized on the support and including a plurality of the guide holes housing the contact probes of the first group, and at least one filtering capacitor having at least one capacitor plate being electrically connected to the conductive portion, the conductive portion electrically connecting the contact probes of the first group.