기판 상의 균일한 액체 유동 분배를 위한 스프레이 바 설계

브러시 박스를 위한 스프레이 매니폴드(spray manifold)가 개시되며, 스프레이 매니폴드는, 세장형 바디 - 세장형 바디는 바디의 길이방향 축에 평행한 방향을 따라 라인으로 형성된 복수의 홀들을 가짐 -; 홀들의 라인과 정렬되는, 바디의 길이를 따라 형성된 선형 슬롯; 바디의 길이를 따라 그리고 홀들 각각과 슬롯 사이에 형성된 중앙 보어; 및 슬롯 상에 배치된 커버를 포함한다. A spray manifold for a brush box is disclosed which includes an elongated body havi...

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Main Authors MIKHAYLICHENKO EKATERINA, STOMBERG JAIMIE, HOEY GEE SUN, RANGARAJAN JAGAN
Format Patent
LanguageKorean
Published 09.08.2019
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:브러시 박스를 위한 스프레이 매니폴드(spray manifold)가 개시되며, 스프레이 매니폴드는, 세장형 바디 - 세장형 바디는 바디의 길이방향 축에 평행한 방향을 따라 라인으로 형성된 복수의 홀들을 가짐 -; 홀들의 라인과 정렬되는, 바디의 길이를 따라 형성된 선형 슬롯; 바디의 길이를 따라 그리고 홀들 각각과 슬롯 사이에 형성된 중앙 보어; 및 슬롯 상에 배치된 커버를 포함한다. A spray manifold for a brush box is disclosed which includes an elongated body having a plurality of holes formed in a line along a direction parallel to a longitudinal axis of the body, a linear slot formed along a length of the body aligning with the line of the holes, a central bore formed along the length of the body and between each of the holes and the slot, and a cover disposed on the slot.
Bibliography:Application Number: KR20197020902