MICRO PIEZOELECTRIC STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

• Main Authors: HAN JUN SAE, CHO HAN LYUN, KIM YOUNG MOO, PARK JAE MAN, PARK SEONG JIN, GAL CHANG WOO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.07.2019
• Subjects: ELECTRICITY

Disclosed is a method for manufacturing a micro piezoelectric structure. The method for manufacturing a micro piezoelectric structure according to an embodiment of the present disclosure can comprise: a step of manufacturing a sacrificial mold of an intaglio shape; a step of manufacturing a raw material including a binder and a space-holder; a step of injecting the raw material into the sacrificial mold to manufacture a structure shape; a step of removing the sacrificial mold; and a step of removing the binder and the space-holder. 마이크로 압전 구조체의 제조 방법이 개시된다. 본 개시의 실시 예에 따른 마이크로 압전 구조체의 제조 방법은, 음각형태의 희생 몰드를 제작하는 단계; 바인더 및 스페이스-홀더를 포함하는 원료를 제조하는 단계; 상기 원료를 상기 희생 몰드에 사출하여 구조체 형상을 제조하는 단계; 상기 희생 몰드를 제거하는 단계; 및 상기 바인더 및 상기 스페이스-홀더를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.