압력센서

• Main Authors: INOUE ATSUO, NADA HIDEAKI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 18.07.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

압력센서(1)에 있어서 복수의 개별전극(31)은, 제2절연막(27)의 절연필름(7)측의 주면에, 공통전극(9)과 대향하여 전체 면에 깔리도록 형성되어 있다. 감압층(33)은 복수의 개별전극(31)의 위에 적층되어 있다. 제1개별 스페이서(35A) 및 제2개별 스페이서(35B)는, 제2절연막(27)의 상면에 있어서 복수의 개별전극(31)의 사이에 배치되고, 공통전극(9)과 대향한다. 제2개별 스페이서(35B)는 제1개별 스페이서(35A)보다 높게 형성되어 있다. 복수의 개별전극(31)은, 저압용의 개별전극(31)과, 고압용의 개별전극(31)을 갖고 있다. 저압용의 개별전극(31)은, 주위의 제1개별 스페이서(35A) 및 제2개별 스페이서(35B)의 배치에 의하여 저압력이 작용하는 것만으로 공통전극(9)과 도통한다. 고압용의 개별전극(31)은, 주위의 제1개별 스페이서(35A) 및 제2개별 스페이서(35B)의 배치에 의하여, 저압력이 작용할 때에 공통전극(9)과 도통하지 않고 고압력이 작용할 때에 공통전극(9)과 도통한다. A pressure sensor includes a first insulating base material, a common electrode formed to extend on a principal surface of the first insulating base material, a second insulating base material disposed to face the principal surface of the first insulating base material, a plurality of individual electrodes provided in a paved manner facing the common electrode, over a principal surface of the second insulating base material on a side of the first insulating base material, a pressure sensitive layer overlaid on at least one of the plurality of individual electrodes and the common electrode, a plurality of thin film transistors provided on a side opposite to the principal surface of the second insulating base material, and first individual spacers and second individual spacers disposed among the plurality of individual electrodes on the principal surface of the second insulating base material to face the common electrode.