기판 시트의 에지 프로세싱을 위한 장치 및 방법

• Main Authors: LI WEIMING, BROWN JAMES WILLIAM, PANIDES ELIAS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 10.07.2019
• Subjects: DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; TRANSPORTING

기판 시트의 에지 프로세싱 장치이다. 상기 장치는 피니싱 부재, 슈라우드, 및 튜브형 부재를 포함한다. 상기 피니싱 부재는 상기 슈라우드의 챔버 내에서 회전 가능하도록 유지된다. 슈라우드는 슬롯의 일부분을 정의하는 주 에지에서 종료되는 월 세그먼트를 포함한다. 상기 슬롯은 상기 피니싱 부재와 상기 에지의 인터페이스를 용이하게 하며, 유리 시트의 에지를 슬라이딩 가능하게 수취하도록 구성된다. 상기 월 세그먼트는 상기 주 에지 내의 개구부에서 종료되는 노즐 통로를 더욱 정의한다. 상기 튜브형 부재는 상기 주 에지로부터 돌출하고 상기 노즐 통로와 유체 연통되는 통로를 정의한다. 상기 노즐 통로로 이송되는 냉각재는 진공 유도된 크로스-흐름의 존재 하에서도 상기 튜브형 부재를 경유하여 상기 피니싱 부재 상으로 주입된다. 일부 실시예들에서, 상기 튜브형 부재의 공간적 배열은 조절 가능하다. An apparatus for processing an edge of a substrate sheet. The apparatus includes a finishing member, a shroud, and a tubular member. The finishing member is rotatably maintained within a chamber of the shroud. The shroud includes a wall segment terminating at a major edge that defines a portion of a slot. The slot is configured to receive the edge of the substrate sheet, facilitating interface of the edge with the finishing member. The wall segment further defines a nozzle passageway that terminates at an opening in the major edge. The tubular member projects from the major edge and defines a passage in fluid communication with the nozzle passageway. Cooling agent delivered to the nozzle passageway is injected onto the finishing member via the tubular member even in the presence of vacuum induced cross-flow. In some embodiments, a spatial arrangement of the tubular member is adjustable.