Gas supply equiment for semiconductor fabricating and controlling method of the same

• Main Authors: KWON, HO SAN, LIM, TAE JUN, JUNG, SANG TAC, KIM, JI HUN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 10.07.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a gas supply device for manufacturing a semiconductor and, more specifically, to a gas supply device for manufacturing a semiconductor, capable of automatically separating and mounting a gas cylinder for manufacturing a semiconductor, and a control method for the same. According to the present invention, the gas supply device for manufacturing a semiconductor includes: a main body accommodating the gas cylinder for manufacturing a semiconductor; a gas supply member for supplying the gas to an outer semiconductor manufacturing device for manufacturing a semiconductor; a mounting device installed in the main body, wherein the gas cylinder for manufacturing a semiconductor is mounted on the mounting device; an aligning device installed in the main body and aligning the gas cylinder for manufacturing a semiconductor installed in the mounting device; a gas connection device opening or closing a valve of the gas cylinder for manufacturing a semiconductor and connecting or separating the gas cylinder for manufacturing a semiconductor and the gas supply member; a control unit controlling the gas supply device for manufacturing a semiconductor; and a display device for displaying an operation state of the gas supply device for manufacturing a semiconductor. 본 발명은 반도체 제조용 가스 공급 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 반도체 제조용 가스 공급 장치는 반도체 제조용 가스 실린더가 수용되는 본체; 외부의 반도체 제조 장치에 반도체 제조용 가스를 공급하기 위한 가스 공급 부재; 상기 본체에 설치되어 상기 반도체 제조용 가스 실린더가 안착되는 안착 장치; 상기 본체에 설치되어 상기 안착 장치에 안착된 상기 반도체 제조용 가스 실린더를 정렬하는 정렬 장치; 상기 반도체 제조용 가스 실린더의 밸브를 개방하거나 폐쇄하고, 상기 반도체 제조용 가스 실린더와 상기 가스 공급 부재를 연결하거나 분리하는 가스 연결 장치; 반도체 제조용 가스 공급 장치를 제어하는 제어부; 및 상기 반도체 제조용 가스 공급 장치의 작동 상태를 표시하기 위한 표시 장치를 포함한다.