투명 기판 상의 결함 검사 방법 및 장치

• Main Authors: GOERS UTA BARBARA, HWANG SUNG CHAN, PALANISAMY RAJESHKANNAN, LEBLANC PHILIP ROBERT, KEEM TAE HO, USTANIK CORREY ROBERT, JUNG JI HWA, HONG EN, PYO SUNG JONG
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.07.2019
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

본 발명의 투명 기판 상의 결함 검사 방법에 따르면, 조명 광학계를 이용하여 투명 기판에 광을 조명하는 단계; 상기 광이 상기 투명 기판의 제1 면과 만나는 제1 영역과, 상기 투명 기판을 투과한 광이 상기 투명 기판의 상기 제1 면과 반대되는 제2 면과 만나는 제2 영역이, 상기 투명 기판의 법선 방향으로 서로 중첩되지 않도록 입사광의 입사각 범위를 산출하는 단계; 산출된 입사각 범위에 따라 상기 광의 입사각을 조절하는 단계; 제1 검출기의 제1 시야는 상기 제1 영역을 커버하고, 상기 제2 영역을 커버하지 않도록 상기 제1 검출기의 위치를 조절하는 단계; 제2 검출기의 제2 시야는 상기 제2 영역을 커버하고, 상기 제1 영역을 커버하지 않도록 상기 제2 검출기의 위치를 조절하는 단계; 및 상기 제1 검출기를 이용하여 상기 제1 영역의 제1 이미지를 획득하고, 상기 제2 검출기를 이용하여 상기 제2 영역의 제2 이미지를 획득하는 단계;를 포함할 수 있다. A method of inspecting defects of a transparent substrate may include: illuminating a transparent substrate; calculating an incidence angle range of light so that a first region where the light meets a first surface of the transparent substrate and a second region where light meets a second surface being opposite the first surface of the transparent substrate do not overlap each other; adjusting an incidence angle according to the incidence angle range; adjusting a position of a first detector so that a first field-of-view of the first detector covers the first region and does not cover the second region; adjusting a position of a second detector so that a second field-of-view of the second detector covers the second region and does not cover the first region; and obtaining a first image of the first region and a second image of the second region from the first and second detector, respectively.