A substrate transport apparatus

• Main Authors: KURPYSHEV ALEXANDER, HOFMEISTER CHRISTOPHER
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 02.07.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DYNAMO-ELECTRIC MACHINES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; HAND TOOLS; MANIPULATORS; PERFORMING OPERATIONS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

기판 이송 장치는, 격리된 분위기를 유지할 수 있는 기판 이송 챔버를 한정하는 내부 표면을 갖는 외주 벽; 상기 외주 벽의 상기 내부 표면과 인접한 외부 표면 사이에, 상기 외주 벽 내에 배치된 적어도 하나의 고정자 모듈, 및 상기 이송 챔버 내에서 실질적으로 접촉하지 않고 부양되는 적어도 하나의 회전자를 갖는 적어도 하나의 실질적으로 링 모양의 모터로서, 상기 링 모양의 모터에 의해 둘러싸인 상기 외주 벽의 표면은 소정의 장치가 상기 외주 벽의 표면에 부착되도록 구성되는 링 모양의 모터; 및 상기 적어도 하나의 회전자에 연결되고 적어도 하나의 기판을 보유하도록 구성된 적어도 하나의 엔드 이펙터(end effector)를 가지는 적어도 하나의 기판 이송 암;을 포함한다. In accordance to an aspect of the disclosed embodiments, a substrate transport apparatus is provided. The substrate transport apparatus includes a frame defining a chamber, at least one stator module embedded at least partly into a peripheral wall of the chamber, the at least one stator module defining an axis of rotation. The substrate transport apparatus further includes at least one rotor substantially concentrically disposed relative to the at least one stator module about the axis of rotation, the at least one rotor being configured to interface with the at least one stator module and being suspended by a respective one of the at least one stator module substantially without contact within the chamber. The substrate transport apparatus further includes at least one substrate transport arm connected to the at least one rotor and having at least one end effector configured to hold at least one substrate.