MOVABLE AND REMOVABLE PROCESS KIT

The present invention relates to methods and devices, which adjust a position of an edge ring and remove or replace one or more components of a process kit of a process chamber. The process kit includes one or more of an edge ring, a support ring, a sliding ring and other consumable or resolvable co...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors SCHMID ANDREAS, KOOSAU DENIS M
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 01.07.2019
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Summary:The present invention relates to methods and devices, which adjust a position of an edge ring and remove or replace one or more components of a process kit of a process chamber. The process kit includes one or more of an edge ring, a support ring, a sliding ring and other consumable or resolvable components. 본 개시내용의 양상들은 일반적으로, 에지 링 포지션을 조정하고, 프로세스 챔버의 프로세스 키트의 하나 또는 그 초과의 컴포넌트들을 제거 또는 교체하기 위한 방법들 및 장치들에 관한 것이다. 프로세스 키트는 에지 링, 지지 링, 슬라이딩 링, 및 다른 소모성 또는 분해성 컴포넌트들 중 하나 또는 그 초과를 포함한다.
Bibliography:Application Number: KR20180166527