유지 장치, 검사 장치, 검사 방법, 수지 밀봉 장치, 수지 밀봉 방법 및 수지 밀봉품의 제조 방법

변형된 대상물이라 하더라도 대상물의 변형을 교정하여 안정적으로 테이블에 유지하기 위해, 유지 장치는, 대상물이 배치되는 테이블과, 테이블에 형성되어 대상물을 흡인하는 복수의 흡인 구멍과, 테이블에 설치되어 복수의 흡인 구멍의 주위를 둘러싸는 시일재와, 시일재가 배치된 위치에서 대상물의 주위를 테이블에 압박하는 압박 부재와, 복수의 흡인 구멍에 접속되는 감압 기구를 구비한다. In order to stably hold a subject on a table by correcting deformation of the subject if...

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Main Authors SHIRASAWA MASANORI, OWARI HIROKI, TAKADA NAOKI, NAKAO SATOSHI, TAKADA JUNKO
Format Patent
LanguageKorean
Published 26.06.2019
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:변형된 대상물이라 하더라도 대상물의 변형을 교정하여 안정적으로 테이블에 유지하기 위해, 유지 장치는, 대상물이 배치되는 테이블과, 테이블에 형성되어 대상물을 흡인하는 복수의 흡인 구멍과, 테이블에 설치되어 복수의 흡인 구멍의 주위를 둘러싸는 시일재와, 시일재가 배치된 위치에서 대상물의 주위를 테이블에 압박하는 압박 부재와, 복수의 흡인 구멍에 접속되는 감압 기구를 구비한다. In order to stably hold a subject on a table by correcting deformation of the subject if the subject has been deformed, this holding device is provided with: a table, on which the subject is to be placed; a plurality of suction holes for sucking the subject, said suction holes being provided in the table; a sealing material, which is provided to the table, and which surrounds the suction holes; a pressing member that presses, at a position where the sealing material is disposed, the periphery of the subject to the table; and a depressurization mechanism connected to the suction holes.
Bibliography:Application Number: KR20197007624