SCRIBING APPARATUS USING LASER DISPLACEMENT SENSOR AND OPERATING METHOD THEREOF

• Main Authors: SO GEUN SEOP, JUNG MYOUNG JIN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 18.06.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

According to the present invention, a scribing apparatus using a displacement sensor has a scribing head unit and a stage on which a substrate is loaded, wherein the scribing head unit is relatively moved with respect of the stage unit. The scribing head unit includes: a lens assembly receiving a cutting laser beam from a laser generator and varying a focus of the cutting laser beam; and a displacement sensor assembly having a displacement sensor including a laser element generating a measuring laser beam and a photographing element receiving the measuring laser beam and having a beam passing unit through which the cutting laser beam having a controlled focus distance in the lens assembly passes, wherein a pixel obtaining section of the photographing element is selectively varied. 본 발명에 따른 변위센서를 이용하는 스크라이브 장치는, 스크라이빙 헤드유닛과 기판이 로딩되는 스테이지를 갖고, 상기 스크라이빙 헤드유닛은 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동되고, 상기 스크라이빙 헤드유닛은, 레이저 발생장치로부터 절단용 레이저 빔을 전달받아 상기 절단용 레이저 빔의 초점을 가변하는 렌즈 조립체, 및 측정용 레이저 빔을 발생하는 레이저 소자와 상기 측정용 레이저 빔을 수신하는 촬상 소자를 포함한 변위센서가 구비되고, 상기 렌즈 조립체에서 초점 거리가 조절된 상기 절단용 레이저 빔이 통과하는 빔 통과부가 형성된 변위센서 조립체를 포함하고, 상기 촬상 소자의 픽셀 획득 구간은 선택적으로 가변되는 것을 특징으로 한다.