A Furnace comprising cooling device
본 발명은 아웃케이싱부; 상기 아웃케이싱부 내측에 위치하는 포트; 상기 아웃케이싱부와 상기 포트의 사이에 위치하는 공간부; 외부로부터 공기를 공급받아, 상기 공간부에 상기 공기를 공급하기 위한 공기공급부; 및 상기 공간부로 공급된 상기 공기를 외부로 배출하기 위한 공기배출부를 포함하고, 상기 공기공급부는, 복수개의 냉각팬 및 상기 복수개의 냉각팬으로부터 공급되는 상기 공기를 상기 공간부로 공급하기 위한 복수개의 외부공기 유입부를 포함하는 로에 관한 것으로, 처리 대상물의 영역별로 균일한 냉각이 이루어질 수 있도록, 상기 복수개의 냉...
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Format | Patent |
Language | English Korean |
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05.06.2019
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Summary: | 본 발명은 아웃케이싱부; 상기 아웃케이싱부 내측에 위치하는 포트; 상기 아웃케이싱부와 상기 포트의 사이에 위치하는 공간부; 외부로부터 공기를 공급받아, 상기 공간부에 상기 공기를 공급하기 위한 공기공급부; 및 상기 공간부로 공급된 상기 공기를 외부로 배출하기 위한 공기배출부를 포함하고, 상기 공기공급부는, 복수개의 냉각팬 및 상기 복수개의 냉각팬으로부터 공급되는 상기 공기를 상기 공간부로 공급하기 위한 복수개의 외부공기 유입부를 포함하는 로에 관한 것으로, 처리 대상물의 영역별로 균일한 냉각이 이루어질 수 있도록, 상기 복수개의 냉각팬을 통해, 상기 복수개의 외부공기 유입부로부터 공급되는 외부공기의 온도를 상이하게 할 수 있다. |
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Bibliography: | Application Number: KR20170159869 |