A Furnace comprising cooling device

본 발명은 아웃케이싱부; 상기 아웃케이싱부 내측에 위치하는 포트; 상기 아웃케이싱부와 상기 포트의 사이에 위치하는 공간부; 외부로부터 공기를 공급받아, 상기 공간부에 상기 공기를 공급하기 위한 공기공급부; 및 상기 공간부로 공급된 상기 공기를 외부로 배출하기 위한 공기배출부를 포함하고, 상기 공기공급부는, 복수개의 냉각팬 및 상기 복수개의 냉각팬으로부터 공급되는 상기 공기를 상기 공간부로 공급하기 위한 복수개의 외부공기 유입부를 포함하는 로에 관한 것으로, 처리 대상물의 영역별로 균일한 냉각이 이루어질 수 있도록, 상기 복수개의 냉...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors CHO HYEONG JUN, HEO WOONG YEOL
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 05.06.2019
Subjects
Online AccessGet full text

Cover

Loading…
More Information
Summary:본 발명은 아웃케이싱부; 상기 아웃케이싱부 내측에 위치하는 포트; 상기 아웃케이싱부와 상기 포트의 사이에 위치하는 공간부; 외부로부터 공기를 공급받아, 상기 공간부에 상기 공기를 공급하기 위한 공기공급부; 및 상기 공간부로 공급된 상기 공기를 외부로 배출하기 위한 공기배출부를 포함하고, 상기 공기공급부는, 복수개의 냉각팬 및 상기 복수개의 냉각팬으로부터 공급되는 상기 공기를 상기 공간부로 공급하기 위한 복수개의 외부공기 유입부를 포함하는 로에 관한 것으로, 처리 대상물의 영역별로 균일한 냉각이 이루어질 수 있도록, 상기 복수개의 냉각팬을 통해, 상기 복수개의 외부공기 유입부로부터 공급되는 외부공기의 온도를 상이하게 할 수 있다.
Bibliography:Application Number: KR20170159869