ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE

• Main Authors: KIM BYEONG BEOM, BAE CHUL MIN, JEON WOO SEOK, HWANG JIN HO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.05.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to an organic light emitting display device, which comprises: a substrate; an active layer disposed on the substrate; a gate electrode disposed on the active layer; a first high k-dielectric constant insulating structure disposed on the gate electrode, and including a first high k-dielectric constant insulating layer doped with carbon and a first ammonia layer disposed on the first high k-dielectric constant insulating layer doped with carbon; source and drain electrodes disposed on the first high k-dielectric constant insulating structure, and forming the semiconductor element with the active layer and the gate electrode; and a light emitting structure disposed on the source and drain electrodes. Accordingly, components included in first and second high k-dielectric constant insulating structures having a relatively thick thickness while having a high k-dielectric constant are not crystallized to reduce leakage current, and have relatively small bonding energy to easily perform a dry etching process. 유기 발광 표시 장치는 기판, 기판 상에 배치되는 액티브층, 액티브층 상에 배치되는 게이트 전극, 게이트 전극 상에 배치되고, 탄소가 도핑된 제1 고유전율 절연층 및 탄소가 도핑된 제1 고유전율 절연층 상에 배치되는 제1 암모니아층을 포함하는 제1 고유전율 절연 구조물, 제1 고유전율 절연 구조물 상에 배치되고, 액티브층 및 게이트 전극과 함께 반도체 소자를 구성하는 소스 및 드레인 전극들 및 소스 및 드레인 전극들 상에 배치되는 발광 구조물을 포함할 수 있다. 이에 따라, 고유전율을 가지면서 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 제1 및 제2 고유전율 절연 구조물들에 포함된 구성 물질은 결정화되지 않아 누설 전류를 줄일 수 있고, 상대적으로 작은 결합 에너지를 갖기 때문에 건식 식각 공정이 용이하게 수행될 수 있다.