CAD-실리콘 후면 이미지 정렬을 위한 가시적인 정렬 마커들/랜드마크들

• Main Authors: LIM HYEOKJIN, BUNNALIM HADI, KIM ROBERT, SALEM RAMI, ENDRINAL LESLY ZAREN V, MALABRY MICKAEL, RANGANATHAN LAVAKUMAR
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 14.05.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

MOS IC는 제1 및 제2 전력 레일들, 제1 및 제2 활성 영역들, 및 복수의 금속 상호연결부들을 포함하는 제1 표준 셀을 포함한다. 제1 전력 레일은 제1 방향으로 연장되고, 제1 전압을 제1 표준 셀에 제공한다. 제2 전력 레일은 제1 방향으로 연장되고, 제2 전압을 제1 표준 셀에 제공한다. 제1 활성 영역은 제1 표준 셀의 제1 측 상의 제1 전력 레일과 제2 전력 레일 사이에 있다. 제2 활성 영역은 제1 표준 셀의 제2 측 상의 제1 전력 레일과 제2 전력 레일 사이에 있다. 제2 활성 영역은 제1 활성 영역과 별개이다. 복수의 금속 상호연결부들은 제1 활성 영역과 제2 활성 영역 사이에서 그리고 제1 전력 레일과 제2 전력 레일 사이에서 제2 방향으로 연장된다. 제2 방향은 제1 방향에 직교한다. A MOS IC includes a first standard cell including first and second power rails, first and second active regions, and a plurality of metal interconnects. The first power rail extends in a first direction and provides a first voltage to the first standard cell. The second power rail extends in the first direction and provides a second voltage to the first standard cell. The first active region is between the first and second power rails on a first side of the first standard cell. The second active region is between the first and second power rails on a second side of the first standard cell. The second active region is separated from the first active region. The plurality of metal interconnects extend in a second direction between the first and second active regions and between the first and second power rails. The second direction is orthogonal to the first direction.