레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법

• Main Authors: ODA TOMOYA, FUJI TAKAHIRO, NAKADA YUICHI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.04.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

일 실시 예에 따르면, 기판(11)과 해당 기판(11) 위에 형성된 박리층(12)을 적어도 구비하는 워크(10)에 대해서, 기판(11) 측에서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 레이저 광(16)을 조사해서 박리층(12)을 기판(11)으로부터 박리하는 레이저 박리 장치(1)이며, 워크(10) 상에 기체(35)를 내뿜고, 워크(10) 표면에 존재하는 분진을 불어날리는 분사 유닛(22)과, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부(52)를 가지고, 불어날려진 분진을 개구부(52)에서 흡인해서 집진하는 집진 유닛(23)을 구비한다. According to one embodiment, a laser lift-off apparatus (1) which irradiates with laser light (16) from a side of a substrate (11) an interface between the substrate (11) and a separating layer (12) of a workpiece (10) including the substrate (11) and the separating layer (12) formed over the substrate (11), and separates the separating layer (12) from the substrate (11) includes: an injection unit (22) which blows a gas (35) onto the workpiece (10) and blows away dusts existing on a surface of the workpiece (10), and a dust collecting unit (23) which includes an opening (52) at a position meeting an irradiation position of the laser light (16), and sucks and collects the blown dusts through the opening (52).