METHOD FOR LASER CLEANING AND APPARATUSES PERFORMING THE SAME

• Main Authors: HWANG, JUNG TAE, OH, CHAE GON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.03.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; TRANSPORTING

Embodiments of the present invention can provide a technology which can improve the performance and an operating ratio of a laser cleaning system. Disclosed are a laser cleaning method and apparatuses for performing the same. According to an embodiment of the present invention, a laser cleaning protection apparatus comprises: a protection apparatus including one or more protective windows positioned on an output side of laser light of an optical system included in a laser cleaning apparatus to block a contaminant introduced into the optical system; and a control apparatus for sensing a contamination state of the protective window currently positioned on the output side of the laser light, controlling to operate a safe interlocking function of the laser cleaning apparatus based on the contamination state, and controlling the protection apparatus to switch the currently positioned protective window to a new protective window. 레이저 클리닝 방법 및 이를 수행하기 위한 장치들이 개시된다. 일 실시예에 따른 레이저 클리닝 보호 장치는 레이저 클리닝 장치에 포함된 광학계의 레이저 광의 출력 측에 위치하여, 상기 광학계의 내부로 유입되는 오염 물질을 차단하기 위한 하나 이상의 보호 창(protective window)을 포함하는 보호 장치와, 상기 레이저 광의 출력 측에 현재 위치하고 있는 보호 창의 오염 상태를 감지하고, 상기 오염 상태에 기초하여 상기 레이저 클리닝 장치의 안전 인터로크(safe interlock) 기능이 동작하도록 제어하고, 상기 현재 위치하고 있는 보호 창에서 새로운 보호 창으로 교환되도록 상기 보호 장치를 제어하는 제어 장치를 포함한다.