양극성 정전 척 및 이를 사용하기 위한 방법

• Main Authors: RAO SHREESHA Y, WHITE JOHN M
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.03.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; MACHINE TOOLS; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

정전 척 및 그 정전 척을 사용하기 위한 방법이 본원에서 설명된다. 일 예에서, 척 바디에 걸쳐 어레이로 탑재된 복수의 독립적으로 교체가능한 정전 척 조립체들을 포함하는 정전 척이 제공된다. 정전 척 조립체들은 대면적 기판을 지지하는 데 적합한 기판 지지 표면을 정의한다. 복수의 정전 척 조립체들 중 적어도 제1 정전 척 조립체는 복수의 정전 척 조립체들 중 제2 정전 척 조립체의 동작과 독립적으로 동작가능하다. 또 다른 예에서, 기판을 척킹하기 위한 방법이 제공된다. Described herein are an electrostatic chuck and method for using the same. In one example, an electrostatic chuck is provided that includes a plurality of independently replaceable electrostatic chuck assemblies mounted in an array across a chuck body. The electrostatic chuck assemblies define a substrate support surface suitable for supporting a large area substrate. At least a first electrostatic chuck assembly of the plurality of electrostatic chuck assemblies is operable independent of an operation of a second electrostatic chuck assembly of the plurality of electrostatic chuck assemblies. In yet another example, a method for chucking a substrate is provided.