MEMS MEMS DEVICE AND PROCESS

• Main Authors: BOYD EUAN, JENKINS COLIN ROBERT, HOEKSTRA TSJERK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 18.03.2019
• Subjects: DEAF-AID SETS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS; TRANSPORTING

본 출원은 MEMS 장치, 특히 MEMS 용량성 트랜스듀서, 및 음향적 쇼크에 증가된 강건성 및 탄성을 제공하는 그러한 MEMS 트랜스듀서를 형성하는 공정에 관한 것이다. 본 출원은 제1 볼륨(109)과 제2 볼륨(110) 사이에 지지되는 가요성 멤브레인(101)을 갖는 트랜스듀서 구조를 설명한다. 트랜스듀서 구조는 상기 제1 및 제2 볼륨 중 적어도 하나와 소통하는 적어도 하나의 가변 벤트 구조(401)를 포함하고, 상기 가변 벤트 구조는 적어도 하나의 이동가능한 부분을 포함하고, 상기 이동가능한 부분은 그것을 가로지르는 압력차에 응답하여 상기 벤트 구조를 통하는 유로의 크기를 변화시키도록 이동할 수 있다. 가변 벤트는 멤브레인을 통하여 형성될 수 있고, 이동가능한 부분은 멤브레인의 표면으로부터 멀리 편향될 수 있는 하나 이상의 채널에 의해 정해진 멤브레인의 부분일 수 있다. 가변 벤트는 바람직하게는 정상 범위의 압력차에서 폐쇄되지만 높은 압력차에서 멤브레인 위와 아래의 공기의 보다 빠른 등화를 제공하기 위해 개방된다. A MEMS capacitive transducer with increased robustness and resilience to acoustic shock. The transducer structure includes a flexible membrane supported between a first volume and a second volume, and at least one variable vent structure in communication with at least one of the first and second volumes. The variable vent structure includes at least one moveable portion which is moveable in response to a pressure differential across the moveable portion so as to vary the size of a flow path through the vent structure. The variable vent may be formed through the membrane and the moveable portion may be a part of the membrane, defined by one or more channels, that is deflectable away from the surface of the membrane. The variable vent is preferably closed in the normal range of pressure differentials but opens at high pressure differentials to provide more rapid equalisation of the air volumes above and below the membrane.