전자원 및 전자선 조사 장치

고휘도이며 대전류의 전자원을 제공하기 위해, 선단(先端)에 볼록 형상 곡면의 전자 방출면을 갖고, 적어도 전자 방출면의 표면이 비정질 재료(202)로 구성된 와이어 형상 부재(201)를 갖는 전자원으로 한다. Provided is a high-brightness, high-current electron source including a wire-like member. The wire-like member has an electron emission plane at the tip of the wire-like member. The e...

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Main Authors DOI TAKASHI, MATSUNAGA SOICHIRO, KAWANO HAJIME, SOHDA YASUNARI, KATAGIRI SOUICHI
Format Patent
LanguageKorean
Published 18.03.2019
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Summary:고휘도이며 대전류의 전자원을 제공하기 위해, 선단(先端)에 볼록 형상 곡면의 전자 방출면을 갖고, 적어도 전자 방출면의 표면이 비정질 재료(202)로 구성된 와이어 형상 부재(201)를 갖는 전자원으로 한다. Provided is a high-brightness, high-current electron source including a wire-like member. The wire-like member has an electron emission plane at the tip of the wire-like member. The electron emission plane has a projectingly curved surface. At least the surface of the electron emission plane is formed of an amorphous material.
Bibliography:Application Number: KR20197005128