X선 검사 장치, X선 박막 검사 방법 및 로킹 커브 측정 방법

본 발명의 X선 검사 장치는, X선 조사 유닛(40)이, 특성 X선을 세로 방향으로 집광하는 제1 X선 광학 소자(42)와, 특성 X선을 가로 방향으로 집광하는 제2 X선 광학 소자(43)를 포함한다. 제1 X선 광학 소자(42)는, 높은 결정성을 가지는 결정 재료로 구성되어 있다. 또, 제2 X선 광학 소자(43)는, 다층막 미러로 구성되어 있다. In an X-ray inspection device according to the present invention, an X-ray irradiation unit 40 includes...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors OGATA KIYOSHI, TAKAHASHI HIDEAKI, HIGUCHI AKIFUSA, JIANG LICAI, HORADA KATSUTAKA, KINEFUCHI TAKAO, YOSHIHARA SEI, UMEGAKI SHIRO, ASANO SHIGEMATSU, OMOTE KAZUHIKO, YAMAGUCHI RYOTARO, VERMAN BORIS, KAMBE MAKOTO, ITO YOSHIYASU, MOTONO HIROSHI
Format Patent
LanguageKorean
Published 13.03.2019
Subjects
GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
IRRADIATION DEVICES
MEASURING
NUCLEAR ENGINEERING
NUCLEAR PHYSICS
PHYSICS
TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR
TESTING
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Summary:본 발명의 X선 검사 장치는, X선 조사 유닛(40)이, 특성 X선을 세로 방향으로 집광하는 제1 X선 광학 소자(42)와, 특성 X선을 가로 방향으로 집광하는 제2 X선 광학 소자(43)를 포함한다. 제1 X선 광학 소자(42)는, 높은 결정성을 가지는 결정 재료로 구성되어 있다. 또, 제2 X선 광학 소자(43)는, 다층막 미러로 구성되어 있다. In an X-ray inspection device according to the present invention, an X-ray irradiation unit 40 includes a first X-ray optical element 42 for focusing characteristic X-rays in a vertical direction, and a second X-ray optical element 43 for focusing the characteristic X-rays in a horizontal direction. The first X-ray optical element 42 is constituted by a crystal material having high crystallinity. The second X-ray optical element includes a multilayer mirror.
Bibliography:Application Number: KR20197002613