마이크로기계식 공진기

• Main Authors: PEKKO PANU, JAAKKOLA ANTTI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 13.03.2019
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

본 개시는 소정의 길이(l)와 상기 길이에 수직인 소정의 폭(w)을 갖는 공진기 소자(40)를 포함하는 마이크로기계식 공진기에 대해 기술한다. 상기 공진기 소자는 1.8 내지 2.2의 범위의 길이-대-폭의 종횡비(aspect ratio)를 갖는다. 상기 공진기 소자는 2개 또는 다수의 앵커들(41, 43)로 지지 구조체에 매달리게끔 구성된다. 상기 2개 또는 다수의 앵커들 각각은 제1 위치 또는 제2 위치에 부착된다. 상기 제1 위치는 상기 공진기 소자의 더 짧은 측면(42) 상에 존재한다. 상기 제1 위치는 상기 공진기 소자의 폭(w)을 더 큰 부분(w)과 더 작은 부분(w)으로 분할하되, 상기 더 작은 부분(w)과 전체 폭(w) 사이의 비율이 0.10 내지 0.28의 범위에 존재하도록 한다. 상기 제2 위치는 더 긴 측면(44) 상에 존재한다. 상기 제2 위치는 상기 공진기 소자의 가로 길이(l)를 더 큰 부분(l)과 더 작은 부분(l)으로 분할하되, 상기 더 작은 부분(l)과 전체 길이(l) 사이의 비율이 0.36 내지 0.48의 범위에 존재하도록 한다. The present disclosure describes a micromechanical resonator comprising a resonator element (40) having a length (l1) and a width (w1) that is perpendicular to the length. The resonator element has a length-to-width aspect ratio in a range of 1.8 to 2.2. The resonator element is suspended to a support structure with two or more anchors (41, 43). Each of the two or more anchors is attached to a first location or a second location. The first location is at a shorter side (42) of the resonator element. The first location divides the width (w1) of the resonator element into a larger portion (w3) and a smaller portion (w2) such that a ratio between said smaller portion (w2) and the whole width (w1) is in a range of 0.10 to 0.28. The second location is at a longer side (44). The second location divides the length (l1) of the resonator element into a larger portion (l3) and a smaller portion (l2) such that a ratio between said smaller portion (l2) and the whole length (l1) is in a range of 0.36 to 0.48.