마이크로기계식 공진기 및 마이크로기계식 공진기의 트리밍 방법

• Main Authors: PEKKO PANU, DEKKER JAMES R, JAAKKOLA ANTTI, PENSALA TUOMAS, OJA AARNE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.03.2019
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

본 개시는 마이크로기계식 공진기, 그 공진기를 위한 공진기 소자, 및 그 공진기를 트리밍 하기 위한 방법을 기술한다. 상기 공진기는 소정의 길이, 폭 및 두께를 갖는 공진기 소자를 포함하고, 상기 길이와 폭은 공진기 소자의 일 평면을 정의한다. 상기 공진기 소자는 그 공진기 소자의 평면에 적어도 2개의 영역들(52, 53)을 가지며, 상기 적어도 2개의 영역들은 서로 다른 두께를 갖는다. The present disclosure describes micromechanical resonator, a resonator element for the resonator, and a method for trimming the resonator. The resonator comprises a resonator element having a length, a width, and a thickness, where the length and the width define a plane of the resonator element. The resonator element comprises at least two regions (52, 53) in the plane of the resonator element, wherein the at least two regions have different thicknesses.